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W1光學表面輪廓形貌分析儀器
W1光學表面輪廓形貌分析儀器
  • W1光學表面輪廓形貌分析儀器

W1光學表面輪廓形貌分析儀器

產品報價:510000元

更新時間:2022/8/19 10:13:34

地:廣東

牌:中圖儀器

號:W1

廠商性質: 生產型,

公司名稱: 深圳市中圖儀器股份有限公司

產品關鍵詞: 輪廓形貌儀   光學表面形貌儀   W1光學輪廓儀   光學輪廓儀   表面輪廓儀  

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羅健 : (18928463988) (0755-83318988)

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W1光學表面輪廓形貌分析儀器的重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統的配合下,分辨率可達0.1nm。其載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度可高達0.1nm。



【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標準行程為140*110mm,局部位移精度可達亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um,Z向掃描電機可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件;
【測量大尺寸樣品時】W1光學表面輪廓形貌分析儀器支持拼接功能,將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um;

產品功能

1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。



W1光學表面輪廓形貌分析儀器可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。


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